เครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

เหตุใดอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จึงต้องการเครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA?

 

ปริมาณก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง:การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของก๊าซและออกซิเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้สำหรับการพิมพ์หินการทำความสะอาดและลิงก์อื่น ๆ ด้วยความช่วยเหลือของเทคโนโลยีการดูดซับแรงดันแกว่งเครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA สร้างออกซิเจนด้วยความบริสุทธิ์ 95%± 3%ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดของการก่อตัวของชั้นออกไซด์และการทำความสะอาดเวเฟอร์และหลีกเลี่ยงความเสี่ยงของการปนเปื้อนที่ไม่บริสุทธิ์
สร้างความมั่นใจในความมั่นคงของกระบวนการ:สายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการการจัดหาก๊าซอย่างต่อเนื่องและมีเสถียรภาพ เครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA ใช้หอคอยการดูดซับสองครั้งเพื่อทำงานสลับกันและผ่านการควบคุมอัจฉริยะของ PLC มันสามารถบรรลุ 24- ชั่วโมงการจัดหาออกซิเจนอย่างต่อเนื่องหลีกเลี่ยงการขัดจังหวะการผลิตที่เกิดจากการเปลี่ยนขวดด้วยตนเองและปรับให้เข้ากับกระบวนการที่ไวต่อแรงดันอากาศ
ลดต้นทุนและเพิ่มประสิทธิภาพพื้นที่:เมื่อเปรียบเทียบกับถังเก็บออกซิเจนของเหลวและถังก๊าซแรงดันสูงเครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA ผลิตออกซิเจนในสถานที่ลดการขนส่งและค่าใช้จ่ายในการจัดเก็บอย่างมาก มันมีรอยเท้าขนาดเล็กและรองรับการขยายตัวแบบแยกส่วนซึ่งตรงกับความต้องการในการเพิ่มการใช้พื้นที่สูงสุดในการประชุมเชิงปฏิบัติการที่สะอาดของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ต้นทุนการใช้งานระยะยาวต่ำกว่าวิธีดั้งเดิมประมาณ 20%
ปรับให้เข้ากับกระบวนการพิเศษ:ในกระบวนการขั้นสูงกระบวนการพิเศษบางอย่างต้องการการควบคุมความเข้มข้นของออกซิเจนอย่างแม่นยำ เครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA สามารถปรับความบริสุทธิ์ออกซิเจนได้อย่างยืดหยุ่น (95%-99. 9%) โดยการปรับความดันการดูดซับและอัตราส่วนตะแกรงโมเลกุลเพื่อตอบสนองความต้องการกระบวนการพิเศษของการผลิตหน่วยความจำแฟลช 3D NAND
เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมและง่ายต่อการบำรุงรักษา:เทคโนโลยี PSA ไม่จำเป็นต้องมีสารเคมีและกระบวนการผลิตออกซิเจนไม่ได้ปล่อยสารอันตรายซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานการป้องกันสิ่งแวดล้อมของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์นี้ใช้สแตนเลสเกรดอาหารและตะแกรงโมเลกุลที่ทำความสะอาดตัวเองโดยมีวงจรการบำรุงรักษาสูงถึง 3-5 ปีและเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเวเฟอร์ที่ผ่านการทำความสะอาดสูง
 

ให้คำปรึกษาฟรี

 

ชนิดพืชออกซิเจน PSA

อุปกรณ์แบบแยกส่วน

 

อุปกรณ์หอคอยคู่

 

อุปกรณ์ภาชนะบรรจุ

 

1. ความบริสุทธิ์ของออกซิเจนสูงแค่ไหนและเป็นไปตามข้อกำหนดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หรือไม่?
เครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA ของเราสำหรับเซมิคอนดักเตอร์สามารถผลิตออกซิเจนเป็นประจำด้วยความบริสุทธิ์ 95%± 3% สำหรับกระบวนการบางอย่างที่ต้องใช้ความบริสุทธิ์ของออกซิเจนสูงมากโดยการปรับพารามิเตอร์อุปกรณ์ความบริสุทธิ์ของออกซิเจนสามารถควบคุมได้อย่างยืดหยุ่นภายในช่วง 95% {- 99 9% ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับความบริสุทธิ์ของก๊าซ

2. อุปกรณ์มีความเสถียรแค่ไหนและสามารถรับรองการทำงานอย่างต่อเนื่องของสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้หรือไม่?
อุปกรณ์ใช้โหมดการทำงานแบบสลับหอการดูดซับสองครั้งรวมกับระบบควบคุมอัจฉริยะ PLC เพื่อให้ได้ 24- ชั่วโมงต่อเนื่องและการจัดหาออกซิเจนที่เสถียร โหมดการทำงานอัตโนมัตินี้จะช่วยหลีกเลี่ยงการหยุดชะงักของการจ่ายก๊าซที่เกิดจากการเปลี่ยนขวดด้วยตนเองให้การจัดหาก๊าซที่เชื่อถือได้และมีเสถียรภาพสำหรับกระบวนการเช่นการสะสมของฟิล์มบางและการแกะสลักที่ไวต่อแรงดันอากาศและลดความเสี่ยงของการหยุดชะงักของการผลิตที่เกิดจากปัญหาการจัดหาก๊าซ

3. เมื่อเทียบกับวิธีการจัดหาออกซิเจนแบบดั้งเดิมค่าใช้จ่ายคืออะไร?
เมื่อเทียบกับถังเก็บออกซิเจนของเหลวหรือถังก๊าซแรงดันสูงเครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA ของเราใช้โหมดการผลิตออกซิเจนในสถานที่ซึ่งช่วยประหยัดการขนส่งออกซิเจนและค่าใช้จ่ายในการจัดเก็บได้อย่างมาก อุปกรณ์ใช้พื้นที่เล็ก ๆ และสามารถขยายได้อย่างเป็นโมดูลาร์ลดค่าเช่าไซต์ ในระยะยาวค่าใช้จ่ายต่ำกว่าวิธีการจัดหาออกซิเจนแบบดั้งเดิมประมาณ 20% ซึ่งช่วยประหยัดค่าใช้จ่ายในการดำเนินงานได้อย่างมีนัยสำคัญ

4. การบำรุงรักษาอุปกรณ์มีความซับซ้อนหรือไม่? วงจรการบำรุงรักษาใช้เวลานานแค่ไหน?
อุปกรณ์นั้นง่ายต่อการบำรุงรักษาโดยใช้สแตนเลสเกรดอาหารและตะแกรงโมเลกุลที่ทำความสะอาดตัวเองซึ่งช่วยลดภาระงานในการบำรุงรักษาได้อย่างมาก ภายใต้สถานการณ์ปกติวงจรการบำรุงรักษานั้นยาวเท่า 3-5 ปีและเราได้ติดตั้งทีมงานหลังการขายมืออาชีพเพื่อให้การสนับสนุนทางเทคนิคได้ตลอดเวลาเพื่อช่วยคุณแก้ปัญหาในระหว่างการทำงานของอุปกรณ์

ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องกำเนิดออกซิเจน PSA สำหรับเซมิคอนดักเตอร์, เครื่องกำเนิดออกซิเจนของจีน PSA สำหรับเซมิคอนดักเตอร์, ซัพพลายเออร์, โรงงาน