การพัฒนาโรงงานออกซิเจน VPSA

ในปี พ.ศ. 2434 บริษัท Linde สัญชาติเยอรมัน เริ่มทำงานเกี่ยวกับการทำให้อากาศกลายเป็นของเหลวในห้องปฏิบัติการของบริษัทผู้ผลิตเครื่องจักรทำความเย็น
ในปี พ.ศ. 2438 ศาสตราจารย์ลินเด้ได้สร้างอุปกรณ์อากาศเหลวเครื่องแรกโดยใช้เอฟเฟ็กต์จูล-ทอมสัน
ในปี 1901 Linde ได้ก่อตั้งโรงงานผลิตอุปกรณ์แช่แข็งในมิวนิก
ในปี 1902 อุปกรณ์แยกอากาศสำหรับหอเรียงกระแสแบบขั้นตอนเดียวแห่งแรกที่ออกแบบโดย Linde เสร็จสมบูรณ์ French Kraut คิดค้นเครื่องขยายและก่อตั้งบริษัท Air Liquefaction ในปารีส
ในปี 1903 Linde ได้สร้างเครื่องกำเนิดออกซิเจนทางอุตสาหกรรมเครื่องแรกขนาด 10 ลบ.ม./ชม. โดยใช้กระบวนการควบคุมด้วยแรงดันสูง
ในปี 1910 ฝรั่งเศสผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนขนาด 50 ลบ.ม./ชม. เครื่องแรกโดยใช้กระบวนการแรงดันปานกลางด้วยเครื่องขยายลูกสูบ
ในปี 1920 เมืองไฮแลนด์ ประเทศเยอรมนี ได้คิดค้นกระบวนการแรงดันสูงเพื่อผลิตออกซิเจนเหลวด้วยเครื่องขยายแรงดันสูง
ในปี 1924 Frankel แนะนำว่าในอุปกรณ์แยกอากาศขนาดใหญ่ ควรใช้เครื่องทำความเย็นแบบเติมโลหะแทนเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนทั่วไป
ในปีพ.ศ. 2469 แฟรงเคิลได้เสนอรูปแบบการสะสมความเย็นแบบทั่วไป
ในปี 1930 Linde ได้สร้างเครื่อง Linde Frankel ในระดับอุตสาหกรรมเครื่องแรกด้วยกำลังการผลิต 255 ลบ.ม./ชม. และมีความบริสุทธิ์ 99.5 เปอร์เซ็นต์ O2
ในปี 1932 มีการใช้เทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์กับหน่วย Linde-Frankel เป็นครั้งแรก ออกซิเจนถูกใช้ครั้งแรกในการสังเคราะห์โลหะวิทยาและแอมโมเนียในประเทศเยอรมนี
ในปี 1939 สหภาพโซเวียตได้สร้างเครื่องเทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์ประสิทธิภาพสูง และเริ่มศึกษาอุปกรณ์แยกอากาศแรงดันต่ำเต็มรูปแบบ
ในปี 1947 ลินเด้ทุ่มเทให้กับอุปกรณ์การผลิตออกซิเจนทางอุตสาหกรรมที่ใช้แรงดันต่ำสุด สหภาพโซเวียตเริ่มออกแบบโรงงานออกซิเจนอุตสาหกรรมขนาดใหญ่ที่มีกระบวนการแรงดันต่ำเต็มรูปแบบ
ในปีพ.ศ. 2492 ประเทศสหรัฐอเมริกาได้ใช้เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบบิดงอจานเป็นครั้งแรกในการผลิตออกซิเจนขนาด 29,000 ลบ.ม./ชม.
ในปีพ.ศ. 2495 ออสเตรียใช้เครื่องแปลงออกซิเจนบริสุทธิ์แบบเป่าด้านบนเพื่อผลิตเหล็กเป็นครั้งแรก ส่งผลให้มีออกซิเจนทางโลหะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว
ในปี พ.ศ. 2498 สหรัฐอเมริกาได้พัฒนาขีปนาวุธอย่างแข็งขันและใช้ออกซิเจนเหลวจำนวนมากในการเร่งความเร็ว
ในปีพ.ศ. 2500 ได้มีการผลิตเครื่องกำเนิดออกซิเจนที่ทำงานอัตโนมัติขนาด 120 ตัน/วันเครื่องแรก
ในปี 1960 ญี่ปุ่นเสร็จสิ้นการผลิต O2 10,000m3/h99.6 เปอร์เซ็นต์ และ N2 10,000m3/h99.99 เปอร์เซ็นต์ อุปกรณ์ไฟฟ้าแรงดันต่ำเต็มรูปแบบที่มีความบริสุทธิ์สูงสูงสองเท่า
ในปี 1972 ฝรั่งเศสสร้างกำลังการผลิตอุปกรณ์แยกอากาศออกซิเจนบริสุทธิ์ที่ใหญ่ที่สุดในโลก: O2 1,700 ตัน/วัน และ N2 1,500 ตัน/วัน
หน่วยขนาดใหญ่ยังอยู่ระหว่างการศึกษา